2020年以來，以國家大基金、稅收優(yōu)惠等政策為支撐，疊加外部技術(shù)封鎖與國內(nèi)晶圓廠擴產(chǎn)需求拉動，我國半導(dǎo)體行業(yè)國產(chǎn)化進(jìn)度逐步從單點突破邁向全鏈協(xié)同，取得一系列進(jìn)展。據(jù)中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會、賽迪顧問等機構(gòu)數(shù)據(jù)，28nm及以上成熟制程自給率達(dá)60%；刻蝕、清洗、薄膜沉積等設(shè)備及8英寸硅片等材料國產(chǎn)化率突破50%，先進(jìn)封裝在Chiplet等領(lǐng)域達(dá)到國際先進(jìn)水平。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)整體國產(chǎn)化率從2020年的不足20%提升至2025年的45%左右，2024年芯片出口更是成為我國第一大出口商品，自主可控能力顯著增強。
AMHS應(yīng)用貫穿從硅片投入到出廠制造全流程
作為潔凈室環(huán)境下半導(dǎo)體制造全流程的關(guān)鍵系統(tǒng)，AMHS（Automated Material Handling System）通過軟件的控制和調(diào)度，實現(xiàn)物料在生產(chǎn)線工序間的自動搬運與緩沖存放，其核心且技術(shù)門檻最高的天車系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造廠、半導(dǎo)體封裝測試廠、顯示面板廠等，直接影響晶圓制造廠產(chǎn)線效率和良率。
AMHS的應(yīng)用貫穿硅片投入、晶圓加工、成品封裝測試至成品出廠全流程。作為多學(xué)科交叉領(lǐng)域，該系統(tǒng)的開發(fā)和制造需融合精密機械設(shè)計、高級軟件算法、實時調(diào)度系統(tǒng)等多學(xué)科知識，具有較高技術(shù)壁壘。
近10年，中國AMHS行業(yè)發(fā)展可分為兩大階段：2020年以前處于被日本大福、村田機械九成壟斷，本土企業(yè)僅以代理為主，輔以少量單體設(shè)備研發(fā)；而進(jìn)入2020年以來，成川科技、彌費科技、新施諾、合肥欣奕華等本土企業(yè)在細(xì)分領(lǐng)域取得不同成果和突破，推動AMHS從機械搬運向智能一體化轉(zhuǎn)型。行業(yè)整體實現(xiàn)從依賴進(jìn)口到自主研發(fā)、從單點突破到整線交付、從可用到可靠的三大轉(zhuǎn)變。
根據(jù)賽迪顧問報告，中國AMHS行業(yè)市場規(guī)模由2016年的不足10億元增長至2024年的86.9億元，年復(fù)合增長率高達(dá)38%。
產(chǎn)業(yè)資金錨定AMHS三大核心痛點，合肥開啟國產(chǎn)化“試驗田”
當(dāng)前AMHS市場面臨技術(shù)壁壘高、進(jìn)口設(shè)備成本高且服務(wù)響應(yīng)滯后、先進(jìn)制程下各項數(shù)據(jù)精度需求持續(xù)提升三大核心痛點。作為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投資重鎮(zhèn)，合肥延續(xù)過往“資本+產(chǎn)業(yè)+場景”的成熟范式，在AMHS領(lǐng)域投資整體圍繞長鑫存儲12英寸晶圓廠擴產(chǎn)(月產(chǎn)能從8萬片提升至12萬片)帶來的巨大AMHS需求，精準(zhǔn)布局國產(chǎn)化替代。合肥建投、產(chǎn)投、興泰等核心資本力量，聚焦成川科技、合肥欣奕華、新施諾三大本土AMHS企業(yè)，通過融資賦能、項目落地以及場景驗證多管齊下，加速AMHS國產(chǎn)化進(jìn)程，支撐長鑫存儲等本地企業(yè)的自主發(fā)展。
具體來看，合肥建投聚焦龍頭企業(yè)，兼顧技術(shù)突破與場景協(xié)同，主要投資案例涵蓋成川科技B輪、新施諾A+輪、長鑫存儲(第一大股東，持股21.67%)；合肥產(chǎn)投則側(cè)重本地企業(yè)孵化，解決研發(fā)資金瓶頸，代表投資案例成川科技B輪、合肥欣奕華多輪融資；合肥興泰、包河創(chuàng)投作為資本賦能和產(chǎn)業(yè)配套的角色，參與了成川科技B輪、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基金等。上述投資方向及產(chǎn)業(yè)基金側(cè)重，均印證了AMHS行業(yè)在技術(shù)突破、本地化運營方面的重點發(fā)力。
從交付到復(fù)購形成良性循環(huán)，成川科技單筆融資斬獲合肥三大產(chǎn)業(yè)基金
值得關(guān)注的是，成川科技僅B輪單筆融資便同時獲得合肥建投、合肥產(chǎn)投、合肥興泰三大產(chǎn)業(yè)基金青睞。根據(jù)官方信息，2025年10月份，成川科技（蘇州）有限公司宣布完成超億元人民幣B輪融資，由元禾控股和合肥建投聯(lián)合領(lǐng)投，興泰投資、合肥產(chǎn)投、包河創(chuàng)投跟投，老股東中科創(chuàng)星持續(xù)加注。
記者查閱公開資料獲悉，憑借可靠的交付能力，公司成功服務(wù)長電科技、華天科技等封測龍頭企業(yè)，并拿下12寸FAB廠、12寸HBM廠整線訂單，形成“交付-驗收-復(fù)購”的良性循環(huán)。
根據(jù)江蘇省新質(zhì)生產(chǎn)力促進(jìn)中心正式公示的2025年江蘇省潛在獨角獸企業(yè)名單，成川科技連續(xù)三年上榜。追溯其發(fā)展史，2022年公司12寸先進(jìn)封裝線AMHS整線項目通過驗收，成為國內(nèi)首個實現(xiàn)國產(chǎn)AMHS整線交付并獲終驗的案例。此后，成川科技延續(xù)“從封測到晶圓制造”的拓展路徑，先從技術(shù)門檻相對較低的細(xì)分領(lǐng)域突破，積累市場信任與項目經(jīng)驗，再逐步進(jìn)軍晶圓制造核心領(lǐng)域。
相比部分企業(yè)側(cè)重軟件集成的業(yè)務(wù)模式，成川科技實現(xiàn)“軟硬件全自研+整線交付”的閉環(huán)，在實際項目中獲得應(yīng)用和驗證，其天車4.0&軟件2.0迭代完成，性能指標(biāo)接近國際先進(jìn)水平。截至2025年12月，成川科技已獲整線訂單19個、天車軌道30000多米、天車數(shù)量500余臺；其中已完成11個整線項目驗收，累計交付軌道22000余米，天車250余臺。
業(yè)內(nèi)人士表示，成川科技穩(wěn)扎穩(wěn)打的發(fā)展路徑，與合肥半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)從成熟制程向先進(jìn)制程演進(jìn)的節(jié)奏高度匹配，有效控制了技術(shù)迭代與市場拓展的雙重風(fēng)險，實現(xiàn)了快速規(guī)?；涞兀型氏瘸蔀榫A廠規(guī)?；瘧?yīng)用的AMHS廠商。
作為國內(nèi)知名的產(chǎn)業(yè)投資城市，同時也是長鑫存儲的核心生產(chǎn)基地，合肥協(xié)同三家產(chǎn)業(yè)基金集中賦能成川科技，是基于產(chǎn)業(yè)鏈補短板、本土需求匹配、技術(shù)路徑契合、產(chǎn)投生態(tài)協(xié)同四大戰(zhàn)略考量的精準(zhǔn)布局，為產(chǎn)業(yè)向更先進(jìn)制程突破筑牢了供應(yīng)鏈基礎(chǔ)。
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